低温硅分析系统

Cryosas

低温硅分析系统

布鲁克光谱低温硅分析系统(CryoSAS) 是一款专用于分析低温(<15K)下硅中杂质的一体化系统，专为工业环境设计。

CryoSAS 内置了一个布鲁克高性能的傅立叶红外光谱仪，闭循环的低温制冷技术，不需要液氦。所有CryoSAS部件都是最先进的，其最新的技术满足了多晶硅生产环境中的艰难分析工作。CryoSAS 能够实现高水平的全自动操作，包含准确的报告及分析结果。

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产品特点包括：

高灵敏度：

CryoSAS  依据ASTM/SEMI MF1630标准分析浅层杂质（例如硼、磷等等），浓度可低至ppta水平。此外，依据ASTM/SEMI MF1391标准，可以分析碳/氧含量，浓度可低至ppba水平。

在低温条件下(~12 K)，CryoSAS 硅中碳测试结果（上图），硅中硼、磷测试结果（下图）

闭循环低温制冷系统：不需要耗费昂贵的低温制冷剂

高可靠性的闭循环低温系统冷却检测器和样品仓。与液氦制冷系统相比，闭循环系统每年可以节省制冷操作费用50,000欧元，甚至更多。

CryoSAS 低温样品仓及9个自动化样品架。

CryoSAS操作软件主屏显示了当前的样品及选择的分析方法

不锈钢设计样品仓：
方便样品替换

样品仓配有稳定的光学系统及自动样品头。样品仓内部的大尺寸方便样品架进入。

机械泵及涡轮泵的结合：
简单清洁的真空系统

使用快速可靠的机械泵和涡轮泵抽真空。

坚固的9个样品支架及精密的步进马达：

稳定的转移平台及支架支持多样品分析，高性能马达及固体机械系统确保精确的样品测试。样品及样品架在样品仓内的安装非常容易。特殊设计的镀金OFHC 铜样品架保证了温度的均一性。

易用性：

CryoSAS 提供了适用于工业环境的简易操作。所有的真空和制冷系统都由程序控制。冷却和开始测量是简单的按钮操作。操作者无需是光谱仪专家或者真空系统专家。

专用的CryoSAS 软件完全根据工业质量控制设计。它可以通过触摸屏操作。操作者只需选择想要的分析方法、输入样品信息，然后按下开始按钮即可启动测量。CryoSAS 可以全自动的冷却样品并开始红外测量、评价结果、生成分析报告。

技术参数

光谱范围：1500-280 cm-1  检测器最佳的测试范围

• 依据ASTM/SEMI MF1630标准测试单晶硅的III族 和 V族浅层杂对于3mm厚的楔形样品，可达检测限为：
  - 10 ppta 磷
  - 30 ppta 硼

• 依据ASTM/SEMI MF1391标准测试替代碳。此方法需要FZ法制备的无碳标准样品以及厚度和表面都可比的待测样品。对于厚度为3mm的楔形样品，碳浓度检测下限达20 ppba

CryoSAS 典型分析案例报告保函相关信息和结果