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压电陶瓷的大作用

作者：本站   发布时间：2023-03-30

优可测Atometrics白光干涉仪AM系列搭载着超高精度扫描单元——压电陶瓷
纳米级步进！逐层扫描还原真实三维形貌，让微小瑕疵、细微划伤无所遁形。

今天带您了解压电陶瓷在白光干涉仪内的重要作用。



01

压电陶瓷  PZT

图片

Weixin Screenshot_20231018153910.png


压电陶瓷PZT通过给予电压信号产生相同间距的微量位移，负载镜头进行逐层扫描。
是白光干涉仪实现精细逐层扫描核心硬件。
是测量精度和三维图像真实还原度的决定性因素。
 
区别于步进电机，压电陶瓷有着如下几个明显优势
① 步进低于几十纳米甚至几纳米
② 步进线性均一
③ 步进可控性强


02

压电陶瓷精细扫描案例

图片
Weixin Screenshot_20231018154703.png


图1  金刚石工具表面  ( ER-230拍摄 )
金刚石表面细节丰富细腻
图像真实还原性极高



Weixin Screenshot_20231018154804.png


图2  5nm台阶高度测量 ( NA-500拍摄 )
低于10nm的超微台阶轻松应对



Weixin Screenshot_20231018154836.png


图3  超光滑镜片表面粗糙度（ NA-500拍摄)


03

三大特点

图片

优可测Atometrics 白光干涉仪AM系列
搭载的压电陶瓷

“高精度”
“大量程”
“高速度”


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