一、仪器原理

1. 台阶仪

台阶仪是一种利用轮廓投影原理测量物体表面形态及其粗糙度的精密测量仪器。它的基本原理是通过光学系统将被测试物体表面的轮廓投影在 CCD 摄像机的感光元件上，通过数字处理方法计算出其高程值，并得到被测物体表面的三维模型和粗糙度等信息。

2. 白光干涉仪

白光干涉仪是一种应用干涉理论测量物体表面形态的仪器。它的基本原理是将白光经过一个分束器分成两束，一束作为参考光，另一束照射到被测物体表面上，经反射后与参考光发生干涉现象。利用干涉现象的光路差反映物体表面的形态信息，可以精确地测量出物体表面的高度差。

二、仪器区别

1. 工作原理不同

台阶仪是通过测量物体表面的轮廓来得到其高程值和三维模型等信息，而白光干涉仪则是利用干涉理论测量物体表面的高度差。因此，两者的工作原理差别较大。

2. 测量范围不同

台阶仪的测量范围一般较小，只适用于表面形态尺寸较小的物体。而白光干涉仪的测量范围要大得多，适用于各种表面形态的物体测量。

3. 精度有所不同

由于测量原理的不同，两种测量仪器的精度也有所不同。通常情况下，白光干涉仪精度要大于台阶仪。

三、应用场景

1. 台阶仪

台阶仪广泛应用于表面形态精度较高的精密零部件的检测，比如机械零件、光学镜头、芯片等的制造和质量检测。

2. 白光干涉仪

白光干涉仪在现代制造业中的应用非常广泛。它适用于各种形态的物体，比如高精度光学元件、机械零件、航空发动机叶片等的三维形态测量。