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氩离子刻蚀截面研磨仪(手套箱专用)

品牌: 艾博智业

型号: AL-2600

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服务热线:18382142160

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一、产品特点:

    1、加工面积大:样品尺寸:0~Ø25mm;

    2、样品表面更均匀

    3、加工时样品表面能量低,特别对于薄膜、高分子样品(对温度敏感性高的样品)损伤小   
    4、控制精度高,实验结果精准可控重复性高

    5、配备专用截面样品台

    6、可实现多种功能:离子减薄、等离子清洗、截面样品抛光、离子刻蚀、EBSD样品制备

    7、专用挡板   

    8、制备单个样品可实现不同能量自动调整

    9、数字化自动控制系统。


二、技术参数:

    1、真空度:极限真空度5*10-3Pa (不通氩气)

    2、*高压:(1)200~10000V

    3、样品台可旋转

    4、具有自保护功能

    5、双离子枪可独立控制;

    6、样品冷却:半导体冷却( 选配件);

    7、支持手套箱。

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