Filmetrics^® Profilm3D^®
光学轮廓仪

Profilm3D^®和 Profilm3D-200 光学轮廓仪经济实惠，是一套非接触式基于白光干涉法的3D表面形貌测量系统。最新一代的白光干涉仪拥有新的成像模式，性能和价值得到了大幅提升。Profilm3D 系列通过简单、灵活的程式设置测量纳米级至毫米级表面，可进行单次扫描或在多个点位自动测量，来支持研发和生产环境。

产品说明

Filmetrics Profilm3D 和 Filmetrics Profilm3D-200 白光干涉仪能够高分辨率地测量亚纳米级分辨率的表面形貌。这些机台支持垂直扫描和相移干涉测量法。Profilm3D 采用TotalFocus™ 技术，可以产生令人惊叹的 3D 自然彩色图像，每个像素都处于聚焦状态。最新一代的 Profilm3D 引入了加强版粗糙度成像技术，可用于测量更粗糙的表面、更高的斜率以及更低的反射率表面。

在 Profilm3D 测量技术中，测量的垂直分辨率不依赖于物镜的数值孔径，能够同时以大视场进行高分辨率的测量。通过将多个视场拼接到单次测量中，可以进一步增大测量区域。Profilm3D 还具有简单、创新的用户界面和自动化功能，支持从研发到生产的各种工作环境。

我们的 Profilm^® 软件包采用先进的基于云的 ProfilmOnline^® 网络服务、 Android 和 iOS 的移动应用程序以及高级 Profilm 桌面软件，可提供灵活的数据存储、可视化功能以及分析解决方案。

特征

1、垂直扫描和相移干涉测量法用于测量纳米级到毫米级的表面特征
2、TotalFocus 3D成像技术对整个测量范围内的每个像素的聚焦能力都进行了优化
3、真彩色成像可生成实际的样品颜色，增强可视化效果，尤其是对于细小或埋藏的特征
4、粗糙度增强模式 (ERM) 可提高条纹的对比度，从而提高透镜等斜率较大的表面的保真度，并改善了粗糙表面上的信噪比
5、该自动对焦功能具有行业领先的长压电行程范围，可扫描高度相隔甚远的多个表面
6、具有长行程范围的自动化 X-Y 样品台，非常适合分布测绘和拼接扫描
7、使用简便的软件包带有高级 Profilm 桌面、基于云的 ProfilmOnline 和移动应用程序，可用于灵活的数据存储、可视化功能以及分析。

应用

1、台阶高度：从纳米级到毫米级的 3D 台阶高度
2、纹理和形状：3D粗糙度、波纹度、翘曲度和形状
3、纹理表征
4、边缘倒角：3D边缘轮廓测量
5、缺陷表征：3D缺陷表面形貌、缺陷表征
6、对大型透明薄膜的表面进行高分辨率扫描
7、高粗糙度，低反射率，划痕表征

行业

1、大学、实验室和研究所
2、硅和化合物半导体
3、精密光学和机械
4、医疗设备
5、LED：发光二极管
6、功率器件
7、MEMS: 微机电系统
8、数据存储
9、汽车

主要应用：

台阶高度

Filmetrics Profilm3D 系列轮廓仪对纳米级到毫米级的3D台阶高度进行非接触式测量。垂直扫描干涉测量法能够以纳米级分辨率测量较大的台阶高度。利用相移干涉测量法可以快速测量出亚纳米级特征。Z拼接干涉测量法将多次高分辨率扫描合并到一次测量中，能够快速测量较大的台阶。这一系列的技术使用户能够量化由半导体工艺（如蚀刻、溅射、沉积、旋涂等）去除或沉积的材料量。